高分解能電子顕微鏡法の基礎と収差補正

摘要

電子顕微鏡の分野で最近話題になっている収差補正技術について，高分解能透過電子顕微鏡法の基礎からはじめ，収差補正で得られる特徴を実例を使って説明する．収差補正は，顕微鏡の点分解能を上げるだけでなく，ナノ構造観察で重要な界面·表面の観察にも有用性を与える．また従来は考えられなかった負の収差係数を実現したり，数nm以下の領域からの制服視野電子回折が簡単にできるようにもなる．