金型にコーティングされたCVDダイヤモンド膜の研磨技術

摘要

CVDダイヤモンド膜の優れた耐摩耗性や潤滑性に着目し、CVDダイヤモンド膜をコーティングしたプレス金型によるドライプレス加工が提案されている1）。 しかし、一方でCVDダイヤモンド膜は多結晶構造をしているために、研磨が必要である。