イオン照射で薄膜材の折り曲げが自在に－新型FEDの実用化目指す－

摘要

産業技術総合研究所は、厚さ数十nmのどんな材料を使った薄膜でも自在に曲げられる薄膜加工技術を開発した。 薄膜にイオン照射する。 アスペクト比（膜厚と曲げた時の高さの比）の高い立体構造を作れるため、次世代薄型パネルとして期待される電界放出ディスプレイ（FED）の電子源などに応用すれば効率が上がり、消費電力が下がる。