I－V特性による薄膜の評価方法の研究

摘要

現在,多くのデバイスにおいて、細密化,高密度化が進んでいる。 とくに、液晶表示体としては消費者の高画質化、高速応答化の要求に伴い、近年めざましい号邑展を遂げている。この流れは止まることを知らず、開発力ら量産移行をいかに短期間でできるかが企業の競争力になってくる。 しかし、評価方法は従来の方法とさほど変化は見られない.