大気圧プラズマおよび低圧パルスプラズマCVD技術

摘要

今回は、最近注目を集めつつある大気圧プラズマCVD関連技術の開発動向として、スウェーデンのUppsala大学のホローカソードプラズマ源、オランダ国立研究機関TNO－TPDの各種プラズマ源を用いた大気圧プラズマCVD技術、英国のCVD Technologies社の大気圧プラズマCVD、ドイツ·IST（フラウンホーファー表面工学·薄膜研究所）のダイエレクトリックバリア放電CVDを、また低圧パルスプラズマCVDとして、米国APT社のウエブコーター用新型プラズマソースをまとめて紹介する。