リソグラフィプロセス向け植物由来の水溶性レジスト材料開発

摘要

富山県立大学工学部機械システム工学科の竹井敏准教授、花畑誠客員教授は、基板上にフォトレジストのパターンを形成するリソグラフィプロセス向けに、植物由来の水溶性高分子材料を開発した。波長が365nmと比較的低エネルギーの光でも線幅300nmパターンの高解像度で、アルカリ現像液などを使う従来工法に比べて、電子デバイス製造の低コスト化や環境負荷低減につながる。