インクジェット工程の信頼性を向上させるin-situ気泡検出技術

摘要

半導体や液晶ディスプレイ（LCD）などの電子デバイス分野において，むだを出さない製造技術としてインクジェット（以下IJと略記）法に注目が集まっている。しかし，量産における吐出安定性の実現が難しいことから，製造ラインへ導入された例はいまだに少ないのが現状である。東芝は，産業用途で多く用いられる圧電式IJヘッドを対象として，アクチュエータである圧電素子を音響センサとしても使用することでヘッド内の気泡の存在をin-situ（その場）かつリアルタイムに検出できる吐出異常検知技術を開発した。これにより，IJ工程の信頼性の大幅な向上が期待できる。