RF-MEMSデバイス

摘要

ユビキタス社会の中核を成す無線技術の大きなボトルネックの一つをナノテクノロジーを用いて解決する見通しをつけた。 鍵となったのは，圧電薄膜における原子層レベルでの配向制御技術である。 これをRF-MEMSに適用することで，無線機器の小型化の鍵となる受動部品であるチューナブルキャパシタを小型でかつ，高性能で作製することに成功した。 Al電極を用いるこのプロセスはLSIプロセスとの互換性も高く，この技術により，次世代無線機器の大幅な小型化を可能にする通が開けた。