銅張誘電体積層基板の界面導電率の周波数依存性測定

摘要

従来，銅張誘電体積層基板の界面比導電率σ_(rb)の測定は，5～20GHzの周波数帯で種々の誘電体円柱共振器を用いて行われてきた．本報告では5GHz以下で測定する方法を検討する．まず，2誘電体共振器法により，寸法の異なるペアの標準誘電体円柱を用いて標準銅板の5～22GHzにおける周波数依存性を測定した．この結果より1.6～2.5GHzにおける界面比導電率測定に用いる4個の高誘電率セラミック誘電体円柱の誘電正接を決定した．これらの測定結果を基に，誘電体共振器法により，2種類の銅張誘電体基板について1.6～20GHzにわたるσ_(rb)の周波数依存性の測定を行い，良好な結果を得た．