銅張誘電体基板に挟まれた誘電体円柱共振器を用いた界面比導電率の周波数依存性測定に関する検討

摘要

これまで銅張誘電体基板に挟まれた誘電体円柱共振器を用いた界面比導電率評価法の検討を行い、14GHz帯における有効性を確認してきた。本報告では、（ZrSn）TiO_4、Ba（MgTa）O_3、サファイアの各誘電体円柱を用いて、3～30GHz帯に測定周波数範囲を拡大し、界面比導電率の周波数依存性評価を行った。その結果、誘電体円柱の誘電正接の周波数依存性が界面比導電率の測定結果に影響を与えることを示した。さらに、その考慮を行うことで、基板厚さ0.3mm程度の場合、20GHz帯まで高精度に測定可能であることを明らかにした。