放射光を利用したテフロンの直接加工とミリ波テフロン導波管の試作～1.5GeV放射光施設「ニュースバル」のビームラインBL2による

摘要

近年，レーザ加工やリソグラフィなどの微細加工技術を活用してマイクロデバイスを実現しようとする研究が盛んである．広くマイクロ波·ミリ波材料としても利用されているテフロン(PTFE)は，良好な絶縁性のため放電加工も適さず，赤外や紫外のレーザ加工も困難である．しかし，放射光を用いれば，厚み1mm以上のテフロンを直接加工（エッチング）できることが知られている．本報告では，放射光を利用したテフロンの直接加工を行い，表面に金属を蒸着させることで導波管構造の形成を試みている．