高電位部への給電のためのデータ伝送機能付き非接触給電手法の研究

摘要

電子線照射装置やイオン注入装置などでは，高電位に充電された電子やイオンの生成部に電力を供給する必要があり，所定の絶縁距離を隔てた空間を非接触で効率良く電力を給電する方法が研究されている．このような用途では，荷電粒子の生成状況の確認などのため，高電位部の各種情報のフィードバックが必要となる場合が多い．そこで本稿では，送受電コイルと一体化してコンパクトするなど，非接触給電に適したデータ伝送機構を新たに提案し，ギャップ長300mmでの信号送信特性などの基礎特性を検討したので，報告する．