偏光解析法を利用した簿膜測定と、リアルタイム簿膜測定を

摘要

東京工芸大学工学部では、偏光解析法を利用した薄膜の膜厚測定技術の研究を行っており、液晶やめっき膜などの成長挙動をリアルタイムで測定する装置の開発に成功している。偏光解析法は光を利用した測定方法であるため、電子線などでは測定することが難しい溶液中や空気中といった環境にも対応する技術として注目されている。めっきをはじめとする表面処理技術によって形成される濃厚の測定に応用できる測定方法とともに、同大学で開発した測定装置のメカニズムや、実用例などについて川畑州一教授より話をうかがった。