スパッタリング法を利用した簿膜形成技術と、加賀能登伝統工芸技術の研究

摘要

金沢工業大学高度材料科学研究開発センター草野研究室では、スパッタリングを利用した薄膜形成技術をメインテーマに、反応性スパッタリングにおける質量平衡の解析をはじめ、高周波プラズマ支援スパッタリングのエネルギー制御や、四フツ化エチレン樹脂（PTFE）薄膜と金属薄膜の組み合わせによるナノ多層膜の構造解析など数多くの研究に取り組んでいる。