PEA法による空間電荷分布測定における数値解析

摘要

パルス静電応力（PEA）法は，誘電体中の空間電荷分布測定に改良され広く利用されているこしかし，誘電体が2層である場合，電極や誘電体界面においてそれぞれの誘電率や音響的性質の違いが測定結果に影響を及ぼす．よって，より正確に空間電荷分布を測定するためには，電極や誘電体界面で発生した音波の伝搬について解析し，それらの影響を測定結果から取り除く必要がある．ここでは，音波の発生，伝搬に関する数値解析モデルとその手法について説明し，測定結果および数値解析の結果からその手法の有効性について考察する．