非接触磁歪線式変位センサのヒステリシス低減の検討

摘要

磁歪線式変位センサは，磁気ひずみ現象を利用して，弾性波を発生させ，弾性波の伝播時間を計測することにより変位を測定するセンサである．変位の測定距離は10m以上も可能である．また非接触の変位センサであるため，リニアモータなどを用いた搬送システムの変位センサとして適している．しかし，磁歪線式変位センサは磁歪線のヒステリシスによって変位誤差が生じる．そこで，本論文では変位誤差を小さくするため，パルス電流波形について検討を行った．