アルミニウムアノード酸化／AFM加工を用いる微細パターン作製法

摘要

AFMT加工および電気化学的処理により，金属をアルミニウムの任意の場所に析出させることを試み，以下の結論を得た。 0．1kmol·m~（-3）硫酸銅水溶液中において，Siプローブを用い，アノード酸化皮膜を化成したアルミニウム表面を走査することにより，皮膜を除去することが可能である。また，そのさいの電流の振動現象を解析することにより，皮膜の除去の進行度を調べることができる。 Siプローブは，充分高い耐摩二耗性を有せず，アノード酸化皮膜に覆われたアルミニウムにある力を印加して走査すると，先端部が摩耗する。皮膜を除去したのち，アルミニウムとプローブとの問に電圧を印加しアルミニウムをカソード分極することにより除去部のみに銅を電析することができる．