アノード酸化とレーザー照射によるアルミニウム表面の微細加工/微細パターン形成における酸化皮膜の厚さの影響

摘要

近年、イタロマシンの作製や電子デバイスの軽薄短か佗を実現ずるための研究開発が活発に行われており、その多くがフォトリソグラフィーにこよる教権構造作製法を利用しているが、この方法は種々の問題点を抱えている。 このような観点から発表者らは、アノード酸化とレーザー照射とを組み合わせた微細構造作製法の開発を試試みており、ライン幅9μm,厚さ3μmを有する金属微細パターンの形成が可能ぞあ透ことを見い出している.この技術をプリント配線板などの金属配線形成に応用するためには、金属パターンの厚膜化が必要になる。 本研究においては、アルミニウム試料に種々の厚さのポーラス型アブード酸化皮膜を化成したのち、パルスYAGレーザーを照射したさいの皮膜の破壊挙動が皮膜厚さによってどのように変化ずるかを調ベるとともに、レーザー照射部のみに電気めっきを行うことにより、アルミニウム表面上にアスぺクトの太きな微细金属パターをを形成することを試みた。