自己組織化陽極酸化ポーラスアルミナを用いた金属モールドの作製とナノインプリントへの応用

摘要

高い細孔配列規則性を有する陽極酸化ポーラスアルミナの応用分野として高密度記録媒体，精密濾過膜，光学デバイスなどが挙げられる．各用途への応用を念頭においた場合，ポーラスアルミナの細孔配列の高規則化と大面積化の両立が重要な課題となる．電子ビームリソグラフィーを用いた手法では高い規則性を有する構造の形成が可能である反面，大面積化は難しい．本報告では,自己組織化プロセスにもとづいて得られた高規則性陽極酸化ポーラスアルミナをもとに作製した直径1インチ程度の大面積金属モールドを作製し，ナノインプリントプロセスへの適用に関し検討した結果を示す．