アルミニウムバリヤー型アノード酸化皮膜の構造と特性に対する電流密度と電解液温度の影響

摘要

前報において,アルミニウムアノード酸化膜のバリヤー層の厚さとアニオン混入挙動に対する電流密度と電解液温度の影響について検討し，皮膜厚とアニオン混入量，およびアニオンの侵入深さは電流密度のの対数（log i）および電解液温度の上昇に対して直線的に変化することが示された.電解条件による皮膜構造と組成の変化は，皮膜成長時におけるバリヤー層の電場強度の違いに起因すると考えられる.この現象はコンデンサー誘電体皮膜の特性制御にとっても重要な問題である.本研究では,電解条件が皮膜特性に与える影響を調べると共に，皮膜構造と組成との関連について検討した。