アルミニウムアノード酸化皮膜の誘電特性に対する電解液種と濃度の効果

摘要

アルミニウム（Al）電解コンデンサ用誘電体皮膜において，皮膜内に封入される電解質アニオンは誘電特性を変化させる要因と考えられる。しかし，誘電特性に及ぼす皮膜内に取り込まれたアニオンの種類,混入量の影響はまだ十分には明らかにされていない。 本研究では，水和処理したAlを種々の電解液で一次アノード酸化後，電解液をホウ酸塩電解液に換えるか，あるいは一次アノード酸化で用いた電解液のまま，より高電圧まで二次アノード酸化熱処理をはさんで三次アノード酸化を行い，皮膜の誘電特性に及ぼす電解質アニオン種の影響について検討した。