三次元SEMによる表面測定技術

摘要

通常，SEM画像の明暗コントラストは，試料表面の凹凸形状に起因し，二次電子検出器に捕捉された二次電子の量に対応している。これは傾斜角効果と呼ばれ，電子ビームが入射する方向と試料表面とのなす角度によって二次電子の発生量が変化し，これが平行に近くなるほど二次電子の発生量が増加する。本センシング手法は，二次電子の発生量が試料表面の傾斜角度に依存して0°～75°付近の間で単調に増加することを応用し，試料表面の三次元情報を得るものである。