半導体検査装置や医療分野における小型ボールねじの技術動向

摘要

ボールねじは、雄ねじ（ねじ軸）のねじ溝と雌ねじ（ナット）のねじ溝とを対向させてできた螺旋状の空間に、ころがり軸受用の鋼球を1列に入れたもの（図1、写真1）。 ねじ軸とナット間でボールが転がり連動をするため高い効率が得られ、直動案内、サーボモータと組み合わせて直動送り機構を構成する機械要素として、各種産業機械に使用される。 その中でも小径のボールねじは、半導体製造装置、FPD製造装置、医療機器、電気機器の組立、検査装置など、高い位置決め精度が求められる分野で活躍している。 本稿では半導体製造、医療分野で使用されるボールねじに対するニーズと、その対応技術を紹介する。