光ネットワークと光デバイス技術：光通信用石英系PLCの技術動向と加工技術

摘要

石英系プレーナ光波回路（PLC）は、レーザ、光ファイバとともに光による技術革命を目指した1970年代の光集積回路の研究に源があり、約30年にわたり着実に発展してきた光部品である。 部品の総合性能が第一開発目標として明確に意識されたのは1980年代に光通信システムが実用化された時である。 それ以後、光通信システムで"使える"部品を目的とした要素技術の開発が精力的に進められてきた。 ここでは"使える"という全体規定のなかで発展してきた石英系PLCの技術動向を加工技術に焦点をしぼって述べる。 また、"使える"という観点ではモジュール化技術も重要であるが、今回はチップ技術の範囲に限定させていただく。