スクリーン印刷による微細電子回路形成－プリンテッド·エレクトロニクスのためのナノ粒子インク技術

摘要

印刷と焼成プロセスによる電子回路パターン形成は，ミクロンサイズの金属粉末をペースト状にした「厚膜ペースト」により，工業化されている．回路パダーン描画は，一般にスクリーン印刷により行われている．スクリーン印刷で直接パターン形成できる電子回路の線幅は50μm程度であるが，近年では線幅20μmの微細電子回路パターン形成も可能になっている．しかし，厚膜ペーストの焼成温度は600℃以上，通常は800-900℃であり，使用できる基板はアルミナに限られていた．また，20μm以下の微細な線幅のパターン形成については，リソグラフィー技術の併用が必要であった．本稿では，プリンテッド·エレクトロニクスに必要不可欠なナノ粒子インクを利用したスクリーン印刷による微細3電子回路パターン形成について，筆者らの研究成果を中心に紹介する．