電解研磨による細線の尖頭化および極細線化

摘要

タングステン細線の尖頭加工を電解研磨によって高精度に行い，開放電圧と加工時間がテーパ角の変化に与える影響を実際の加工によって調べた．開放電圧，加工時間を増加させた場合のどちらにおいても加工量は増加し，テーパ角が大きくなることが確認できた．また，その変化はファラデーの法則に則っていることが確認できた．さらに，電解研磨によって微細電極を製作したところ，25倍のアスペクト比を持っ電極を製作することができた．今後は製作した電極を用いた加工の評価と，より微細な電極の製作を行っていく．