MEMSマイクロミラーの静的強度と疲労強度に対する信頼性設計手法の提案

摘要

MEMSマイクロミラーの静的強度と疲労強度の設計応力決定手法を提案した。 MEMSマイクロミラーの静的強度の設計応力の決定法として，事前分布に十分な数の実験データを用い，少数の実機の強度データで設計応力をベイズ推定により決定する手法を提案した。 仮想データにより，従来手法である最尤法と比較し，提案手法の有効性を実証した。 本手法は特に，実機の強度データが少ない場合に有効である。また，マイクロミラーの疲労破壊に対する設計応力の決定に関して,加速寿命試験結果を通常使用環境に外挿評価する手法を提案した。99％予測区間により疲労設計線図を導出した。