半導体材料中の超微量金属不純物定量のための化学前処理法

摘要

先端半導体素子の高性能化のためには，シリコンウエハーをはじめとして，金属やセラミックス，有機物など多岐にわたる材料の高純度化が不可欠であり，そのためのppt～ppbレベルの超微量分析法の開発が急務である。これらの要求にこたえる手段として，化学前処理法では，試薬、容器や環境などからの汚染低減やマトリックス分離が試みられている。 本稿では，気相分解法やイオン交換法など，現在活用されている超微量金属不純物定量のための化学前処理法を紹介し，操作や適応範囲について，具体例を用いて解説する。