原子間力顕微鏡による物性計測技術の最近の進歩

摘要

原子間力顕微鏡(atomic force microscopy, AFM)は， 1986年に考案され，こんにちでは非常に一般的な画像 化手法として，基礎研究から生産現場にまで至る広範な 分野で用いられている。筆者はAFMに関する研究にそ の比較的初期から携わってきた中の一人であるが， AFMの歴史や基礎的な事項についてはすでにいくつか の書籍1)2)で紹介されているので割愛し，なお新しい手 法や概念を取り込んで発展を続ける主として2000年以 降の進展について紹介してみたい。こうした最近の進展 には，日本のいくつかの研究グループの果たした役割が 非常に大きいという点は特筆すべきである。筆者自身が 取り組んできた研究はその中のごく一部分にすぎない が，それだけではなく，学術的に見て新しい可能性を提 示しているものを取り上げたい。ただし，AFMの適用 範囲は固体表面の物理学から生体計測に至るまで極めて 広範な分野にわたっており，優れた研究だけを選んでも すべてを紹介することは到底不可能であるため，本誌の 読者層を考えてある程度限定したものとなる点をお断り させていただく。