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机译:GaN中等离子体反应离子刻蚀引起的损伤的光致发光研究
GaN; etch damage; photoluminescence; reactive ion etching;
机译:GaN中等离子体反应离子刻蚀引起的损伤的光致发光研究
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机译:等离子体反应离子蚀刻引起的氮化镓损伤。
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机译:mOCVD在sI 4H-siC上生长的调制掺杂alxGa1-xN / GaN结构中二维电子气的光致发光研究