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机译:MEMS压力传感器绝缘硅张阻硅框架异质结构界面的研究
heterostructures; silicon-on-insulator; microelectromechanical systems;
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机译:通过使用氧化镁模板层开发多功能异质结构,对六角形碳化硅上功能性氧化物的界面工程和异质表观进行原子研究。
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