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机译:基于静电驱动和电容感应的纳米陀螺仪的设计与性能分析
Design; performanc; nanogyroscope;
机译:基于静电驱动和电容感应的纳米陀螺仪的设计与性能分析
机译:电容式传感和静电控制系统设计与分析扭转摆
机译:用于纳米力学测试的微机电系统:高应变率测试的静电致动和电容感应
机译:使用频率调制电容感测的MEMS静电驱动的同时致动和感测
机译:静电驱动气体微型泵的分析,设计和实验特性。
机译:基于静电驱动弯曲微梁共振频率监测的位移传感
机译:CmOs mEms谐振磁场传感器,具有差分静电驱动和电容传感