机译:抗蚀剂和嵌段共聚物中的选择性激光烧蚀,用于高分辨率光刻
block-copolymer; ablation; lithography;
机译:抗蚀剂和嵌段共聚物中的选择性激光烧蚀,用于高分辨率光刻
机译:抗蚀剂和嵌段共聚物中的选择性激光烧蚀,用于高分辨率光刻
机译:抗蚀剂和嵌段共聚物中的选择性激光烧蚀,用于高分辨率光刻
机译:使用二嵌段共聚物光刻和选择性区域MOCVD生长的图案化InGaAs / InGaAsP / InP量子点有源激光器
机译:嵌段共聚物在压缩二氧化碳中的相行为以及作为单畴层纳米光刻抗蚀剂的亚10纳米图案转移
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机译:在光谱上可图案化二嵌段共聚物中的形态取向控制