polyoxometalate hybrid materials dielectrics photolithography;
机译:电子材料上亚微米和纳米级大面积抗蚀剂的加性软光刻构图
机译:基于金属盐和Keggin多金属氧酸盐的无机-有机杂化材料的构建和性能研究
机译:含多金属氧酸盐簇阴离子和有机染料阳离子的无机-有机杂化材料的研究
机译:构图低k介电材料的蚀刻步骤中的抗蚀剂转变:对过程控制的影响
机译:先进的光刻图案技术:材料和工艺。
机译:探索哑铃形多氧酸盐杂交物的自组装从分子构建单元到纳米结构软材料
机译:多金属氧酸盐杂化材料作为可图案化电介质和光刻抗蚀剂的研究