机译:具有自对准多重图案化过程的扩展能力
SAMP; Multiple-patterning; 1D layout; SAOP; LER; Smoothing; Hole shrink;
机译:具有自对准多重图案化过程的扩展能力
机译:工艺参数对自对准多重构图工艺图形形成的影响
机译:交替材料自对准多重构图的工艺开发和边缘放置良率建模
机译:图案基础从频率乘法到边缘放置精度的范式转变:通过选择性蚀刻和交替材料自对准多重图案的新型处理解决方案
机译:沙漠槲寄生,Phoradendron Californicum的分散和空间分布,多尺度:图案,过程和机制
机译:通过在多个空间尺度上量化组装过程来解释土壤细菌的距离衰减模式
机译:通过自对准多个图案化过程使缩放功能能够实现