nanopositioning equipment industrY; rapidly increasing; precision imaging;
机译:适用于AFM应用的双级纳米定位系统的空间轨迹重新设计
机译:双级纳米定位系统的多时间尺度控制
机译:双叠层差分驱动压电致动器驱动的纳米定位系统中的滞后
机译:双级纳米定位系统的级联结构线性二次跟踪控制
机译:基于范围的双级系统控制:用纳米定位阶段的应用设计与分析
机译:使用商用控制硬件的二维纳米定位级直线电机的一维控制系统
机译:负载变化纳米定位系统力反馈控制的经典调谐