机译:用于航空颗粒质量传感的热致动微机械谐振器的制造和表征:II。器件制造与表征
机译:用于航空颗粒质量传感的热致动微机械谐振器的制造和表征:II。器件制造与表征
机译:亚微米空隙散装模式MEMS质量传感器的制造,电学表征和子NG质量分辨率用于检测空气颗粒
机译:用于检测空气传播颗粒的亚MU M空气间隙散装模式MEMS质量传感器的制造,电学表征和亚NG质量分辨率
机译:亚微米气隙共振MEMS质量传感器的制造和电气特性,用于检测空气中的颗粒
机译:基于MEMS执行器的电热微器件的设计,制造和表征。
机译:通过热压印光刻技术设计和制造基于环的PDMS软探针用于生物系统中的传感和驱动力。
机译:通过热压印光刻设计和制造,并基于环形PDMS软探针的机械表征,用于在生物系统中感测和致动力