机译:利用MEMS技术制造双平面线圈动态麦克风
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机译:使用SOI晶片的Z型臂支撑硅振膜的超小型MEMS麦克风的设计与制造
机译:高灵敏度MEMS麦克风的新型混合制造工艺
机译:使用MEMS制造技术设计和制造光电多芯片模块原型
机译:MEMS双背板电容式麦克风的设计,制造和表征。
机译:使用CMOS-MEMS技术的微型甲醇传感器的制造与表征
机译:MEMS麦克风的设计,制造和表征
机译:采用sUmmiT V制造工艺开发mEms双背板电容式麦克风的兼容膜。