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机译:磷对多层多晶硅膜和单晶硅应力的影响
Phosphorus; Thick films; Semiconducting silicon; Polycrystalline materials; Single crystals; Residual stresses; Interfaces (materials); Oxygen; Compressive stress; Oxidation;
机译:磷对多层多晶硅膜和单晶硅应力的影响
机译:使用POCl↓(3)扩散掺杂进行表面微加工的低拉伸应力的高掺杂磷薄膜
机译:磷掺杂的多晶硅发射极晶体管的类似杂发射极的特性。第二部分:由于多晶硅发射极中的残余应力导致的带变形
机译:磷掺杂对多晶硅薄膜杨氏模量和应力的影响
机译:非均匀性对多晶硅硅薄膜(多晶硅,晶界,分布函数,掺杂曲线,TEM)中电阻率建模的影响。
机译:从封面开始:用于光伏发电应用的薄膜单晶硅的二维和三维折叠
机译:通过等离子体浸没离子注入(PIII)以前原位磷掺杂多晶硅膜:控制和简化钝化触点集成
机译:具有预定应力特性的大面积多晶硅薄膜及其制造方法