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机译:用于麦克风的单芯片多晶硅冷凝器结构的制造
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机译:使用DRIE和背面蚀刻技术的单芯片电容式微型麦克风
机译:使用多孔硅作为气隙牺牲层的单芯片电容式麦克风
机译:具有结构化多晶硅隔膜的活塞式冷凝器麦克风的制造
机译:异质结构金属氧化物纳米阵列的合成,制备及其在水分解中的表征
机译:3-D结构的组织工程和创新制造技术的进步:神经变性疾病的平移应用
机译:利用晶圆转移和微电镀技术设计和制作电容式麦克风
机译:Electrets在凝汽器麦克风上的应用。