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机译:在中等温度下使用NO气体在硅上电子束辅助形成氮氧化硅层(3.5 nm):生长动力学和机理
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机译:高性能多层有机硅/氧氮化硅水屏障结构通过等离子体增强的化学气相沉积在低温下连续沉积
机译:通过等离子体增强化学气相沉积双层富硅氧氮化硅和氮化硅的表面钝化结晶硅
机译:在室温下工作的硅纳米线沟道单电子/空穴晶体管中点形成机理的再研究
机译:电子增强原子层沉积(EE-ALD),用于室温生长氮化镓,硅和氮化硼薄膜
机译:使用对化学敏感的3.5 nm薄型硅晶体管的室温多路气体检测
机译:氮化硅和氮氧化硅层的低压化学气相沉积及其在基于光波导的化学传感器中的应用