机译:局域CO2激光退火诱导的含硅纳米晶的富硅二氧化硅薄膜的脱氢/烧蚀和光学细化
nanocrystalline Si; CO2 laser annealing; Si-rich SiO2; dehydrogenation; photoluminescence; CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; THIN-FILMS; OXIDE FILMS; ELECTROLUMINESCENCE; PHOTOLUMINESCENCE; OXYGEN; DEFECT; INTENSITY; SUBSTRATE; LIGHT;
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机译:准分子激光退火对嵌入富硅氮化硅膜中的硅纳米晶体的影响
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机译:二氧化碳激光退火合成富含富含硅的SiO2中的硅纳米晶体分析
机译:I.使用CO 2激光烧蚀对silicalite-1膜进行构图II。 Silicalite-1薄膜的沉积和激光致密化对其光学特性的影响。
机译:富硅氧化硅中嵌入的硅纳米晶体的基体结构顺序与压缩应力之间的相关性
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