Spin-on-polymer methylsilsesquioxane for sub-micron intermetal dielectric application

C. T. Chua; G. Sarkar

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Spin-on-polymer methylsilsesquioxane for sub-micron intermetal dielectric application

机译：用于亚微米金属间电介质应用的旋涂聚合物甲基倍半硅氧烷

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来源
《Journal of Materials Science Letters》 |1999年第17期|共3页
作者
C. T. Chua; G. Sarkar;
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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工程材料学;
关键词
spin-on-polymer methyl silses quioxane; dielectric; 甲基硅三氧二硅烷; 电子材料; 粘度;

机译：spin-on-polymer methyl silses quioxane;dielectric;甲基硅三氧二硅烷;电子材料;粘度;

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