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机译:热壁氧化物中SC-1处理对O3 / TEOS CVD纳米STI间隙填充的影响
Cleaning; SC-1; STI gap-filling; O3/TEOS;
机译:热壁氧化物中SC-1处理对O3 / TEOS CVD纳米STI间隙填充的影响
机译:热壁氧化物中SC-1处理对O3 / TEOS CVD纳米STI间隙填充的影响
机译:SC-1处理对O_3 / TEOS CVD热壁氧化物纳米级STI间隙填充的影响
机译:在南施加纳米级STI间隙填充的热壁氧化物中SC-1处理的影响
机译:使用原位红外光谱法从TEOS和臭氧进行二氧化硅的APCVD过程中热活化边界层内的化学:磷和硼对气相化学的影响。
机译:Li2O递增对TEO2-AS2O3-B2O3玻璃系统机械和伽马射线屏蔽特性的影响
机译:热壁氧化物中sC-1处理对O3 / TEOs CVD纳米级sTI间隙填充的影响