机译:适用于0.13μm技术的双栅极氧化物的湿法氧化物刻蚀及其他:与光刻胶和设备的相互作用
Dual gate oxide; wet etching; BOE;
机译:适用于0.13μm技术的双栅极氧化物的湿法氧化物刻蚀及其他:与光刻胶和设备的相互作用
机译:超低k相容性二氧化碳原位光刻胶灰化过程的机理研究。二。与先前的碳氟化合物等离子体超蚀刻工艺的相互作用
机译:超低k相容性二氧化碳原位光刻胶灰化过程的机理研究。二。与先前的碳氟化合物等离子体超低k蚀刻工艺的相互作用
机译:双栅极氧化物的湿氧化物蚀刻0.13μm技术及更大:与光致抗蚀剂和设备的相互作用
机译:二氧化ha与多晶硅栅和双金属(钌-钽合金,钌)栅电极的界面工程和可靠性特性,适用于65 nm以上的技术。
机译:氢氧化四甲铵/异丙醇湿法刻蚀对AFM光刻制备的硅纳米线的几何形状和表面粗糙度的影响
机译:光刻胶反应离子刻蚀后超临界二氧化碳辅助的氧化降解和聚合物残留的去除