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机译:对低能硼和BF↓(2)离子注入产生均匀且可重复的超浅结的RTP要求
机译:对低能硼和BF↓(2)离子注入产生均匀且可重复的超浅结的RTP要求
机译:优化RTA参数以产生超浅,高度活化的B↑(+),BF↓(2)↑(+)和As↑(+)离子注入结
机译:优化RTA参数以产生超浅,高活化B〜+,BF_2〜+和As〜+离子注入结
机译:氧化后的低能量植入硼在超浅P〜+ / n结形成中增强了扩散
机译:使用等离子体浸没离子注入和外延二硅化钴作为掺杂源的超浅结制造。
机译:超低能大剂量硼注入Si(110)的化学状态和原子结构演变
机译:模拟超浅结的综合解决方案:从高剂量/低能量植入到扩散退火