机译:叔酰胺基三(二甲基氨基)钽和氢等离子体对氮化钽薄膜的等离子体增强原子层沉积
Tantalum nitride thin films; Plasma-enhanced atomic layer deposition; Preferred orientation; Microstructure; Copper diffusion barrier;
机译:叔酰胺基三(二甲基氨基)钽和氢等离子体对氮化钽薄膜的等离子体增强原子层沉积
机译:TaC_x N_y薄膜的等离子增强原子层沉积,含叔丁基亚氨基三三乙二胺基钽和甲烷/氢气
机译:氢等离子体和叔丁基丁酰亚胺三(二乙基氨基)钽(TBTDET)在原子层沉积中碳化钽和氮化物相的形成及其对材料性能的影响
机译:使用氢自由基作为还原剂增强钽氮化物薄膜的血浆增强原子层沉积
机译:钽和含氮供体配体的第6组金属配合物的合成和表征,使用新的前体作为薄膜生长和原子层沉积的潜在来源化合物。
机译:通过原子层沉积与透明导电氧化物基板集成的氮化钽薄膜用于光电化学水分解
机译:通过热退火改善超导氮化物薄膜的超导等离子体增强原子层沉积的临界温度
机译:用于HmC(混合微电路)应用的氮化钽,钛和钯薄膜沉积的DC磁控溅射系统的表征。