公开/公告号CN101036217A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-09-12
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN200580018051.6
申请日2005-05-31
分类号H01L21/283(20060101);H01L21/52(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人张波
地址 美国纽约阿芒克
入库时间 2023-12-17 19:07:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-15
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/283 登记生效日:20171127 变更前: 变更后: 申请日:20050531
专利申请权、专利权的转移
2008-12-31
授权
授权
2007-11-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-09-12
公开
公开
机译: 有机光电组件,即有机LED,制造方法,涉及通过等离子体增强的原子层沉积和等离子体增强的化学气相沉积在有机功能层上施加阻挡层。
机译: 原子层沉积的氮化钽和α相钽作为阻挡层用于铜金属化
机译: 原子层沉积的氮化钽和α相钽作为阻挡层用于铜金属化