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【2h】

Improved critical temperature of superconducting plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium nitride thin films by thermal annealing

机译：通过热退火改善超导氮化物薄膜的超导等离子体增强原子层沉积的临界温度

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作者
Liang Tian; Ivane Bottala-Gambetta; Victor Marchetto; Manoël Jacquemin; Alexandre Crisci; Roman Reboud; Arnaud Mantoux; Gregory Berthomé; Frédéric Mercier; André Sulpice; Laetitia Rapenne; François Weiss; Carmen Jiménez; Elisabeth Blanquet;
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年度 2020
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