窒化ガリウム単結晶基板の製造技術

摘要

窒化ガリウム単結晶基板（以下GaN基板と呼ぶ）は新世代の大容量光ディスク用青紫色レーザーダイオードの基板として実用化されている。 また，超高輝度の白色および青色発光ダイオードや高周波·高耐圧特性に秀でた電子デバイスへの応用も検討されている。